Partial Pressure Control in Reactive Sputtering - Hiden Analytical

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Deutsch
Am Tau- punkt Td reicht die in der Luft enthaltene Feuchtigkeit gerade aus, um die Luft zu sättigen. Aus Abb. 5 liest man die absolute Feuchtigkeit f(Td) bzw.
Luftfeuchtigkeit - TU Dresden
Der Partialdruck ist definiert als jener Druck, den das Gas annehmen würde, wenn es allein das gesamte. Volumen ausfüllen würde.



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