Fabrication du système en couches minces : ... L'aire totale de grains cristallins
est supérieure à celle des deux faces d'une couche .... ainsi que de la rigidité et
la structure cristallographique du substrat, [13-14]. ...... Enfin, la gravure peut être
utilisée pour corriger la forme géométrique de ... les forces de rappel élastique ... 
